Alle Luft, die in die kontrollierte Zone eingeführt wird, muss gefiltert werden, indem "Partikel" aus den Luftströmen getrennt werden.Die Methode der Entfernung ist fast so unterschiedlich wie die Größen der erzeugten Partikel.Das Verständnis von Trenntechniken erfordert eine genaue Definition, was Teilchen sind.Es ist schwierig zu sagen, ob solche kleinen Partikel tatsächlich in der Luft hängen (Partikel) oder durch sie verteilt sind (Gas oder Dampf)Die untere Grenze, wo Partikel als echte Partikel wirken, beträgt etwa 0,01 Mikron.Die normale Trennungslehre gilt nicht für Partikel unter dieser Größe, und ihre Entfernung aus der Luft erfordert Techniken, die für gasförmige Materialien reserviert sind.Partikel über 0,01 Mikrometer gelten in der Regel als filterfähig.Hocheffiziente Partikelfilter (HEPA) und Ultra-Low-Penetration-Luftfilter (ULPA) sind die am häufigsten verwendeten Filter in Reinraumanwendungen.
Luftfilter bestehen aus Filtermedien, Dichtungsmitteln, einem Rahmen und manchmal einem Gesichtsschutz und/oder einer Dichtung.
(1) Medien sind das Filtermaterial. Zu den gängigen Medienarten gehören Glasfasern, synthetische Fasern, Gewebefasern und PTFE.Hocheffiziente Filter verwenden submikronen Glasfasermedien in einem Aluminiumrahmen.
2) Siegelmittel ist das Klebstoffmaterial, das eine undichte Dichtung zwischen dem Filtermedium und dem Rahmen erzeugt.
Der Filter kann aus einer Vielzahl von Materialien hergestellt werden, darunter Aluminium, Edelstahl, Kunststoff oder Holz.
4) Ein Gesichtsschutz ist ein an den Filter befestigter Schirm zum Schutz der Filtermedien bei Handhabung und Montage.
5) Die Dichtung ist ein Gummi- oder schwammähnliches Material, das verwendet wird, um Luftlecks zwischen dem Filter und seinem Gehäuse zu verhindern, indem die beiden zusammen komprimiert werden.Es fließt durch den Filter.Die Luft wird von der Filterleitung entfernt, und die "reine" Luft geht durch die nachgelagerte Seite aus.
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