Cleanroomvorfilter bieten eine Leistungsbewertung an, die ihre Fähigkeit bestimmt, Partikel einer spezifischen Größe gefangenzunehmen. Die Leistungsbewertung wird gewöhnlich im Hinblick auf die minimale Leistungsfähigkeit des Filters ausgedrückt, die über Wert (MERV) berichtet. MERV-Bewertungsstrecke von 1 bis 20, wenn die höheren Bewertungen bessere Filtrations-Leistungsfähigkeit anbieten. Im Allgemeinen zeigt eine höhere MERV-Bewertung an, dass der Filter am Gefangennehmen von Teilchen leistungsfähiger ist.

Cleanroomvorfilter werden vom unterschiedlichen Filtermaterial, einschließlich synthetische Fasern, Papier, Glasfaser und Aktivkohle hergestellt. Filter der synthetischen Faser sind allgemein, weil sie ausgezeichnete Tragfähigkeits- und Filtrations-Leistungsfähigkeit haben. Papierfilter sind am Gefangennehmen von großen Partikeln weniger teuer und effektiv, während Glasfaserfilter eine hohe Schmutztragfähigkeit haben. Aktivkohlefilter werden benutzt, um gasförmige Schadstoffe und unangenehme Gerüche zu entfernen.