Cleanroom-Industrie-Anforderungs-Standards
Leistungsanforderungen eines Cleanrooms identifizieren das Cleanroomklassenniveau, das an einem gegebenen Zustand oder an einer Zustand erfordert wird. Es gibt von der Bedingung (Zustände) für die Prüfung und die Charakterisierung der Leistung von Cleanrooms dreiniveau: wie-erbaut; im Ruhezustand; und betrieblich. Spezifische Prüfmethoden für diese drei Klassifikationen werden im 14644-3:2005 umrissen.
Die meisten Cleanrooms sind bewertet und im leeren Raum der wie-erbauten Kategorie-ein mit dem Filtersystembetrieb, aber ohne Arbeitskräfte und Produktionsausrüstung verkauft. Jedoch stellt das Addieren von Arbeitskräften und von Ausrüstung Verschmutzung vor und beeinflußt die Raumbewertung. Ein Reinraum ist möglicherweise bewertete ISO 6 im Ruhezustand, aber an ISO 7 während der Operation. Um mit Leistungsanforderungen einzuwilligen, sollte der wie-erbaute leere Raum geprüft werden und evaluiert werden, gefolgt worden durch die Prüfung und Dokumentation vom beruhigten und von den Betriebszuständen. Wenn Verschmutzung im beruhigten oder in den Betriebszuständen nicht in der Befolgung ist, müssen korrektive Schritte unternommen werden. Diese Schritte können von der Untersuchung des Produktionsverfahrens und der Arbeiterzahl im Cleanroom, bis zu der Prüfung der Luftströmungsleistung des Raumes reichen.
Darüber hinaus kann Cleanroomluftströmungsleistung kosteneffektiv verbessert werden, indem man Fanfiltermodule (FFM) addiert. Zum Beispiel FFMs-Abdeckung ungefähr 5-15% einer Cleanroomdecke Klasse ISO 8. Die Höhereinstufung zu einem Cleanroom ISO 7 erfordert Abdeckung der Decke 15-25% und die Abdeckung 25-40% der Decke ändert den Raum zu einer Klasse ISO 6.
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