Die Qualität eines Reinraums wird in der Regel nach der Anzahl und Größe der in der Luft zulässigen Partikel unterteilt.Gemäß dieser NormIn den meisten Fällen sind die Standards für Reinräume je nach Branche und Anwendungsbereich unterschiedlich.Standards für Reinräume sind in der Regel strenger, um sicherzustellen, dass die Qualität und Leistung der hergestellten Chips den Erwartungen entsprichtDie Stufe des Reinraums kann in folgende eingeteilt werden: Stufe 1 > Stufe 10 > Stufe 100 > Stufe 1000 > Stufe 10000 > Stufe 100000 > Stufe 300000.
Der Reinraum der Klasse 1 wird hauptsächlich für die Herstellung von integrierten Schaltungen in der Mikroelektronikindustrie verwendet, und die Genauigkeit der integrierten Schaltungen muss auf Submikronniveau liegen.
Der Reinraum der Klasse 10 wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie mit einer Bandbreite von weniger als 2 Mikrometern verwendet.
Klasse 100 Reinheit wird weit verbreitet verwendet, um die Reinigungsbedürfnisse der meisten Industriezweige zu erfüllen.Der Reinraum kann für Operationen verwendet werden, um Transplantate und Integratoren herzustellen., sowie zur Isolationsbehandlung von Patienten, die besonders empfindlich auf bakterielle Infektionen reagieren.
Der Reinraum der Klasse 1000 wird hauptsächlich für die Herstellung von Präzisionsoptikprodukten, aber auch für Prüfungen, Flugzeugteleskopmontage, Präzisionsmikrolagermontage usw. verwendet.
Reinräume der Klasse 10000 können für die Montage hydraulischer oder pneumatischer Geräte und in einigen Fällen auch in der Lebensmittel- und Getränkeindustrie verwendet werden.Klasse 10000 Reinräume werden auch in der medizinischen Industrie weit verbreitet..
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