Übliche Klimaanlage-Methoden im Reinraum
Es gibt zwei Arten übliche Klimaanlagemethoden im Reinraum. MAU+AHU+HEPA (kurz für AHU-System) und MAU+FFU+DC trocknen die Spule (kurz für FFU-System).
Durch den Vergleich von diesem zwei Methoden, wird es geschlossen, dass FFU als eine Reinigungszykluseinheit in der ReinigungsKlimaanlage auftritt, und das Heizluftvolumen im Reinraum ist dem Außentemperaturvolumen des FFU gleich. Die Luft im Reinraum ist in den Reinraum durch FFU von der sauberen Decke, und die Heizluft ist zurück zu der Decke durch das Rückholluftsandwich. Die Heizluft tauscht Hitze mit der trockenen Spule DCs aus, die in das Sandwich beim Überschreiten durch den Rückhollufteinlass installiert ist.
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