Der HEPA-Filter ist eine wesentliche Komponente, wenn er die Sauberkeit eines Cleanroom beibehält. Seine Struktur wird von gefaltetes Filtermaterial, ein Rahmen und eine Dichtung enthalten. Das Filtermaterial wird von den Glasfasern gemacht, die in einem gelegentlichen Muster, mit einem Durchmesser von 0.5-2 Mikrometern vereinbart werden. Der Rahmen wird gewöhnlich vom Aluminium- oder galvanisierten Stahl gemacht, und die Dichtung wird vom Neopren hergestellt.

Der HEPA-Filter ist entworfen, um die Partikel zu entfernen, die mit einer Leistungsfähigkeit von 99,97% so klein sind wie 0,3 Mikrometer. Um Höchstleistung sicherzustellen, ist es wichtig die Anweisungen des Herstellers für Installation und Ersatz zu befolgen. HEPA-Filter erfordern auch die periodische Prüfung und Bescheinigung, zum von Befolgung der internationalen Standards, wie ISO 14644 und Bundesstandard 209 sicherzustellen.

Um die Sauberkeit eines Cleanroom beizubehalten, ist es entscheidend HEPA-Filter regelmäßig instandzuhalten und zu ersetzen. Es wird empfohlen, um Filter alle 2-4 Jahre, abhängig von der Anwendung und dem Prozessniveau im Cleanroom zu ersetzen. Aller Filterersatz und -wartung sollten von ausgebildeten Fachleuten durchgeführt werden, um der Integrität des Cleanroom und des Filters zu garantieren.