Cleanroom-Luft-Filtration
Cleanrooms setzen Luftfiltration ein, um die Partikel in der Umweltluft zu begrenzen. Gewöhnlich ist dieses durch den Gebrauch entweder einer in hohem Grade leistungsfähigen Partikelluft (HEPA) oder ultra niedrigen Partikelluft (ULPA)-Filters. Diese Filter können ungefähr 99,9 Prozent aller Mikroteilchen in einer Raumluft entfernen, indem sie entweder laminare Luftströmung auftragen, oder turbulente Luftströmungstechniken zur Umwelt lüften.
Laminare Luftströmung bezieht sich auf Luft, die in einen geraden, ungehinderten Weg fließt. Fluss in einer Richtung wird in den Cleanrooms durch den Gebrauch der Hauben der laminaren Luftströmung aufrechterhalten, die direkte Luft abwärts in einem geraden Weg spritzt, sowie wird Cleanroomarchitektur, die sicherstellt, Turbulenz vermindert. Laminare Luftströmung verwendet HEPA-Filter, um alle Luft zu filtern und zu säubern, welche die Umwelt einträgt. Blätterige Filter werden häufig aus Edelstahl verfasst, oder andere unvergossene Materialien, zum der Menge der Partikel sicherzustellen, die die Anlage eintragen, bleibt niedrig. Diese Filter verfassen normalerweise ungefähr 80 Prozent aus dem Deckenraum. Die Cleanrooms, die laminare Luftströmung einsetzen, gekennzeichnet gewöhnlich als Luftstrom Cleanrooms in einer Richtung.
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